报告(活动)主题:第三代半导体产业发展关键材料—氮化铝
报告(活动)时间:4月29日(周一)14:00-15:30
报告(活动)地点:图书馆学术报告厅(昌平校区)
报告人简介
张纪才,北京化工大学理学院教授,博士生导师。2005年毕业于中国科学院半导体研究所,获得博士学位。在Sci. Rep., Appl. Phys. Lett等SCI收录期刊发表论文60余篇。申请国家发明专利10余项。在国内外会议上做邀请报告8次。主持多项国家自然科学基金、北京市自然科学基金等科研项目。
讲座内容摘要
1.III氮化物的一些基本性质及对器件的影响。
2.材料的制备方法及未来材料的研究发展趋势。
3.氢化物气相外延法(HVPE)制备AlN的研究困难及目前研究进展。